1. Generelles zu Bildgebenden Verfahren

($\mapsto$ hier alles ohne AFM/STM als Idee) $\bullet$ Limiterung bei mikroskopischen Verfahren: $\lambda$ der verwendeten Strahlung ($e^-$ oder Photonen) Unterscheid nach WW-Prinzipien $\lambda \le$ Objekte $\longrightarrow$ Reflexion $\lambda$ $\approx$ Objekte (Atome ?) $\longrightarrow$ Beugung $\bullet$ {\bf Aufl"osungsgrenzen} (Vorlage Energien, ggf. erweitert mit Gr"o"senskala) \psfig{figure=./Xfig_bilder/energien_schueler.ps,height=9cm,angle=-90.} \underline{optisch (elektrom. Strahlung)} (Kap. 2) bis einige $\mu m$ = $10^4 \AA = 10^{-3} mm$ denn: $\lambda$ von VIS = 0.4 -0.7 $\mu m$ = 400-700 nm \underline{Elektronen} (Kap. 3) bis in $\AA$-Bereich abh"angig von $\lambda$ = Energie der $e^-$ danach grobe Einteilung \underline{2 Methoden:} Kap. 3.1.: {\bf SEM=REM} 20-100 keV etwa 0.1 $\mu m$ ca. 10 * besser als optische Mikroskopie Kap. 3.2.: {\bf HREM} = High-Resolution-Microscopy $e^-$ von 100-1000 keV = bis atomare Aufl"osung {\bf Betriebsmodi f"ur alle Mikroskope:} (sowohl elektromagnetisch (optisch) wie $e^-$ ) \ding{192} \underline{Reflexion} Detektor "uber der Probe keine besondere Pr"aparation n"otig \ding{193} \underline{Transmission} Detektor unter der Probe) - optisch: Probe durchsichtig! - $e^-$: Probe d"unn sein! (Pr"aparation schwierig) bei $e^-$ immer: Reflexion nur mit geringer Aufl"osung (SEM) Transmission immer bei gro"ser Aufl"osung (TEM)

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Inhalt Einleitung I. Spektroskopie II. Beugung III. Bildgebung IV. Sonstige Methoden

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